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Normas DIN – AENOR
DIN IEC 62047-3:2004-08

DIN IEC 62047-3:2004-08

Microelectromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece (IEC 47/1760/CD:2004)

Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe (IEC 47/1760/CD:2004)

Fecha Anulación:
2017-02 /Withdrawn
Equivalencias internacionales:

IEC 47/1760/CD (2004)

Relación con otras normas DIN:

Reemplazada por: DIN EN 62047-3:2007-02

Resumen:
This International Standard specifies a standard test piece, which is used to guarantee propriety and accuracy of tensile-testing system for thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 µm, which are main structural materials for MEMS, micromachines and similar devices.
In dieser internationalen Norm ist eine Standardmikroprobe festgelegt, welche verwendet wird, um die Richtigkeit und Genauigkeit eines Prüfsystems zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen mit Längen- und Breitenabmaßen kleiner als 1 mm und Dicken kleiner als 10 µm, welche die hauptsächlichen Basiswerkstoffe in der Mikrosystemtechnologie, von Mikrobauteilen und ähnlichen Bauteilen sind, sicherzustellen.
Keywords:
Components, Materials, Microelectronics, Microsystem techniques, Precision, Properties, Samples, Semiconductor devices, Specification (approval), Standard methods, Symbols, System engineering, Tensile strain, Testing, Testing devices, Testing system, Thin-film technology
34,95
Idioma Formato

Formato digital

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