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Normas DIN – AENOR
DIN 50437:1979-06

DIN 50437:1979-06

Testing of semi-conductive inorganic materials; measuring the thickness of silicon epitaxial layer thickness by infrared interference method

Essai des matériaux semi-conducteurs minéraux; mesure de l'épaisseur des dépôts épitaxiques de silicium au moyen de la méthode interférentielle infrarouge

Prüfung halbleitender anorganischer Stoffe; Messung der Dicke von Silicium-Epitaxieschichten mit der Infrarot-Interferenzmethode

Fecha Anulación:
2019-01 /Withdrawn
Equivalencias internacionales:

ASTM F 95 (1976)

Keywords:
Definitions, Dimensions, Epitaxial layers, Layout, Measurement, Substrates (insulating), Testing, Wavelengths
29,35
Idioma Formato

Formato digital

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