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Normas DIN – AENOR
DIN 50441-4:1997-11

DIN 50441-4:1997-11

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 4: Slice diameter, diameter variation, flat diameter, flat length, flat depth

Essai des matériaux pour la technologie des semiconducteurs - Mesure des dimensions géométriques des tranches de semiconducteurs - Partie 4: Diamètre de tranches, variations de diamètre, diamètre et longueur, et profondeur du méplat

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Messung der geometrischen Dimensionen von Halbleiterscheiben - Teil 4: Scheibendurchmesser, Durchmesservariation, Flatdurchmesser, Flatlänge, Flattiefe

Fecha Anulación:
1999-03 /Withdrawn
Relación con otras normas DIN:

Reemplazada por: DIN 50441-4:1999-03

Resumen:
The methods according to this document cover the determination of the slice diamater, diameter variation, flat diameter, flat length and flat depth. They are non-destructive regarding mechanical damages.
Die Verfahren nach diesem Dokument dienen dazu, Scheibendurchmesser, Durchmesservariation, Flatdurchmesser, Flatlänge und Flattiefe von kreisförmigen Halbleiterscheiben zu bestimmen. Sie sind zerstörungsfrei im Hinblick auf mechanische Beschädingungen.
Keywords:
Definitions, Diameter, Diameter measurement, Dimensions, Flat depth, Flat length, Height, Inspection, Materials, Measurement, Non-destructive testing, Semiconductor engineering, Semiconductor slices, Semiconductor technology, Semiconductors, Specification (approval), Test equipment, Testing, Thickness, Thickness measurement
40,84
Idioma Formato

Formato digital

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