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Normas DIN – AENOR
DIN 50451-7:2017-09

DIN 50451-7:2017-09

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS / Note: Date of issue 2017-08-18

Essai des matériaux pour la technologie des semi-conducteurs - Dosage des éléments en traces dans les liquides - Partie 7: Détermination de 31 éléments dans l'acide chlorhydrique de haute pureté par ICP-MS / Attention: Date de parution 2017-08-18

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 7: Bestimmung von 31 Elementen in hochreiner Salzsäure mittels ICP-MS / Achtung: Erscheinungsdatum 2017-08-18

Fecha Anulación:
2018-04 /Withdrawn
Relación con otras normas DIN:

Reemplaza a: DIN 50451-7:2017-02

Reemplazada por: DIN 50451-7:2018-04

Resumen:
This document specifies methods of testing hydrochloric acid for small traces of 31 elements using the inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS).
Keywords:
Ammonium, Definitions, Elements, Etch mixtures, High-purity, Hydrochloric acid, ICP, Inductively Coupled Plasma, Liquids, Mass spectrometry, Materials testing, Samples, Sampling methods, Semiconductor technology, Semiconductors, Testing, Trace elements
53,93
Idioma Formato

Formato digital

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