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Normas DIN – AENOR
DIN 50446:1995-09

DIN 50446:1995-09

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of defect types and defect densities of silicon epitaxial layers

Essai des matériaux pour la technologie des semiconducteurs - Détermination des types d'imperfection et des densités d'imperfection des tranches épitaxiques de silicium

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Defektarten und Defektdichten in Silicium-Epitaxieschichten

Fecha Anulación:
2019-01 /Withdrawn
Keywords:
Crystal defects, Defects, Definitions, Epitaxial layers, Epitaxial slices, Materials, Materials testing, Semiconductor technology, Semiconductors, Silicon, Testing
47,01
Idioma Formato

Formato digital

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