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Normas DIN – AENOR
DIN EN 62047-30:2016-08

DIN EN 62047-30:2016-08

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film (IEC 47F/241/CD:2016) / Note: Date of issue 2016-07-22

/ Attention: Date de parution 2016-07-22

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 30: Messverfahren für Kenngrößen der elektromechanischen Energiewandlung bei piezoelektrischen MEMS-Dünnschichten (IEC 47F/241/CD:2016) / Achtung: Erscheinungsdatum 2016-07-22

Fecha Anulación:
2018-07 /Withdrawn
Equivalencias internacionales:

IEC 47F/241/CD (2016-02)

Resumen:
This document specifies measuring methods and its reporting schema of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric thin film used for micro sensors and micro actuators.
In diesem Dokument sind Messverfahren und Messprotokolle für Kenngrößen der elektromechanischen Energiewandlung bei piezoelektrischen Dünnschichten, welche in Mikrosensoren und aktoren vewendet werden, festgelegt.
Keywords:
Characteristics, Components, Consumer goods, Conversion, Definitions, Electromechanical, Energy converters, Industries, Materials, Measurement, Measuring techniques, Microelectronics, Microsystem techniques, Parameters, Piezoelectric, Production processes, Properties, Samples, Semiconductor devices, Sensors, System engineering, Test certificates, Testing, Testing conditions, Thin films, Thin-film technology
88,32
Idioma Formato

Formato digital

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