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Normas DIN – AENOR
DIN EN 62047-17:2015-12

DIN EN 62047-17:2015-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 17: Méthode d'essai de renflement pour la mesure des propriétés mécaniques des couches minces (IEC 62047-17:2015); Version allemande EN 62047-17:2015

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015); Deutsche Fassung EN 62047-17:2015

Fecha:
2015-12 /Active
Equivalencias internacionales:

EN 62047-17 (2015-07)

IEC 62047-17 (2015-03)

Relación con otras normas DIN:
Resumen:
This document specifies a method for performing bulge tests on free-standing film specimen with a frame surrounding the bulging window. The film specimen is fabricated with micro/nano structural film materials. The thickness of the film is in the range of 0,1 µm to 10 µm.
Dieses Dokument legt ein Verfahren für die Durchführung von Wölbungsprüfungen (Bulge-/Tiefen-Prüfungen) an einer freistehenden Schicht, die innerhalb eines Fensters gewölbt wird, fest. Die Dünnschicht-Mikroproben werden auf Basis von Mikro/Nano-Schicht-Werkstoffen hergestellt. Die Dicke der Schichten liegt im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm.
Keywords:
Base materials, Bulges, Definitions, Dimensions, Electrical engineering, Materials, Mechanical properties, Mechanical properties of materials, Mechanical testing, Microelectronics, Microsystem techniques, Prominences, Samples, Semiconductor devices, System engineering, Testing, Thin films, Thin-film devices, Thin-film technology
95,14
Idioma Formato

Formato digital

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