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Normas DIN – AENOR
DIN EN 62047-21:2015-04

DIN EN 62047-21:2015-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014); German version EN 62047-21:2014

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21: Méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince (CEI 62047-21:2014); Version allemande EN 62047-21:2014

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-21:2014); Deutsche Fassung EN 62047-21:2014

Fecha:
2015-04 /Active
Equivalencias internacionales:

EN 62047-21 (2014-09)

IEC 62047-21 (2014-06)

Relación con otras normas DIN:
Resumen:
This document specifies the determination of Poisson's ratio from the test results obtained by the application of uniaxial and biaxial loads to thin-film micro-electromechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less than 10 µm.
In diesem Dokument ist ein Verfahren zur Bestimmung der Querkontraktionszahl (Poissonzahl) auf der Grundlage von Messwerten festgelegt, die erhalten werden, wenn einachsige (uniaxiale) und zweiachsige (biaxiale) Beanspruchungen auf Dünnschichtwerkstoffe der Mikrosystemtechnik mit Längen sowie Breiten kleiner 10 mm und Dicken kleiner als 10 µm ausgeübt werden.
Keywords:
Characteristics, Components, Definitions, Materials, Measurement, Measuring techniques, Microelectronics, Microsystem techniques, Poisson's ratio, Properties, Samples, Semiconductor devices, Single-axle, System engineering, Testing, Testing conditions, Thin films, Thin-film technology, Two-axles
77,76
Idioma Formato

Formato digital

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