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Normas DIN – AENOR
DIN EN 62047-25:2014-05

DIN EN 62047-25:2014-05

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (IEC 47F/183/CD:2014) / Note: Date of issue 2014-04-18

/ Attention: Date de parution 2014-04-18

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Herstellungstechnologie - Messverfahren zur Zug-Druck- und Scherfestigkeit gebondeter Flächen im Mikrometerbereich (IEC 47F/183/CD:2014) / Achtung: Erscheinungsdatum 2014-04-18

Fecha Anulación:
2017-04 /Withdrawn
Equivalencias internacionales:

IEC 47F/183/CD (2014-01)

Relación con otras normas DIN:

Reemplazada por: DIN EN 62047-25:2017-04

Resumen:
This part of DIN EN 62047 specifies the on-line testing method to measure the bonding strength of micro area which is fabricated by micromachining technology used in silicon-based micro-electromechanical system (MEMS). This part is applicable to the on-line pull-press and shearing strength measurement of the micro bonding area fabricated by microelectronic technology process and other micromachining technology.
In diesem Teil der DIN EN 62047 ist das Online-Prüfverfahren zur Ermittlung der Festigkeit von Bondflächen im Mikrometerbereich festgelegt, die mithilfe von Prozessen der Mikrosystemtechnik, welche für siliziumbasierte mikroelektromechanische Systeme (MEMS) verwendet werden, hergestellt sind. Er ist für die Online-Messung der Zug-Druck- und Scher-Festigkeit von mikrogebondeten Flächen anwendbar, die mithilfe mikroelektronischer oder anderer mikrosystemtechnologischer Verfahren hergestellt werden.
Keywords:
Components, Compounds, Compression, Compressive strength, Connections, Definitions, Electrical engineering, Electronic equipment and components, Materials, Measurement, Measuring techniques, Microelectronics, Microsystem techniques, Properties, Semiconductor devices, Shear strength, Silicon, Specification (approval), Strength of materials, Surface treatment, Tensile strength, Testing
90,09
Idioma Formato

Formato digital

Nota: Precios sin IVA ni gastos de envío

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