Saltar navegación principal
Normas DIN – AENOR
DIN 50450-3:1991-03

DIN 50450-3:1991-03

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar and He by using a flame ionization detector (FID)

Essai des matériaux pour la technologie des semiconducteurs; détermination de la contamination des gaz porteurs et des gaz dopés, détermination de la contamination du méthane dans H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar et He avec un détecteur d'ionisation de flammes

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID)

Fecha:
1991-03 /Active
Resumen:
The standard should define the test method for determining the content of NH<(Index)4> in the carrier and doping gases H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar and He by using a FID.
Die Norm soll das Prüfverfahren zur Bestimmung des Methangehaltes in den Träger- und Dotiergasen H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar und He unter Verwendung eines FID festlegen.
Keywords:
Analysis, Argon, Carrier gases, Chemical analysis and testing, Chemicals, Content, Determination of content, Doping agents, Doping gases, Gases, Helium, Hydrogen, Impurities, Materials, Materials testing, Methane, Nitrogen, Oxygen, Semiconductor engineering, Semiconductor materials, Semiconductor technology, Semiconductors, Testing, Volume, Volume measurement
29,35
Idioma Formato

Formato digital

Nota: Precios sin IVA ni gastos de envío

Añadir a la cesta