Resumen:
This document specifies generic terminology for the global and local quality parameters of artificial gratings, interpreted in terms of deviations from nominal positions of grating features, and provides guidance on categorisation of measurement and evaluation methods for their determination.
Das vorliegende Dokuments spezifiziert eine generische Terminologie für die globalen und lokalen Qualitätsparameter von künstlichen Gittern, die als Abweichungen von den nominalen Positionen der Gitterelemente zu sehen sind. Das Dokument ist auch eine Richtlinie, wie die Messungen und Auswertemethoden zur Bestimmung dieser Parameter kategorisiert werden können.
Keywords:
Carbon, Characteristics, Chemical properties, Definitions, Electrical engineering, Electrical properties, Grating, Grilles, Lattice constant, Mechanical properties, Nano tubes, Nanotechnology, Optical properties, Parameters, Properties, Specifications