Saltar navegación principal
Normas DIN – AENOR
DIN IEC 62047-10:2010-05

DIN IEC 62047-10:2010-05

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials (IEC 47F/48/CD:2010) / Note: Date of issue 2010-05-25

/ Attention: Date de parution 2010-05-25

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (IEC 47F/48/CD:2010) / Achtung: Erscheinungsdatum 2010-05-25

Fecha Anulación:
2012-03 /Withdrawn
Equivalencias internacionales:

IEC 47F/48/CD (2010-03)

Relación con otras normas DIN:

Reemplazada por: DIN EN 62047-10:2012-03

Resumen:
This document specifies micro-pillar compression test method to measure compressive properties of MEMS materials with high accuracy, repeatability, and moderate effort of specimen fabrication. The uniaxial compressive stress-strain relationship of a specimen is measured, and the compressive modulus of elasticity and yield strength can be obtained.
Diese Internationale Norm legt ein Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik fest zur Messung von deren Druckeigenschaften mit hoher Genauigkeit, Wiederholbarkeit und einem angemessenen Aufwand bei der Herstellung der Mikroproben. Es werden die durch Druckbeanspruchung verursachten einachsigen Spannungs-Dehnungs-Verhältnisse einer Mikroprobe gemessen und es können sowohl das Elastizitätsmodul bezogen auf Druckbeanspruchung als auch die Dehnungsgrenzen (Fließgrenzen) ermittelt werden.
Keywords:
Compression, Compression stresses, Compression tests, Electrical engineering, Materials, Microelectronics, Microsystem techniques, Pressure tests, Properties, Samples, Semiconductor devices, Specification (approval), System engineering, Tensile strain, Tensile testing, Testing, Testing devices, Testing system, Thin films, Thin-film devices, Thin-film technology
59,72
Idioma Formato

Formato digital

Nota: Precios sin IVA ni gastos de envío

Añadir a la cesta