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Normas DIN – AENOR
DIN EN 62047-6:2010-07

DIN EN 62047-6:2010-07

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009); German version EN 62047-6:2010

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d´essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince (CEI 62047-6:2009); Version allemande EN 62047-6:2010

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-6:2009); Deutsche Fassung EN 62047-6:2010

Fecha:
2010-07 /Active
Equivalencias internacionales:

EN 62047-6 (2010-03)

IEC 62047-6 (2009-04)

Relación con otras normas DIN:
Resumen:
This standard specifies a method for axial tensile-tensile force fatigue testing of thin film materials with a length and width under 1mm and a thickness in the range between 0,1 µm and 10 µm under constant load amplitude or constant displacement amplitude. Thin films are used as main structural materials for MEMS and micromachines.
In dieser Norm ist ein Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit mit Zug-Zug-Beanspruchung bei konstanter Spannungs- oder Dehnungsamplitude festgelegt für Dünnschicht-Werkstoffe mit einer Länge und Breite kleiner als 1 mm und einer Dicke im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm. Dünnschicht-Werkstoffe werden als hauptsächliche Werkstoffe für die Herstellung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Mikromaschinen verwendet.
Keywords:
Base materials, Definitions, Dimensions, Electrical engineering, Fatigue, Fatigue limit, Materials, Microelectronics, Microsystem techniques, Room air temperature, Samples, Semiconductor devices, Specification (approval), System engineering, Tensile strain, Tensile testing, Testing, Testing devices, Testing system, Thin films, Thin-film devices, Thin-film technology
82,24
Idioma Formato

Formato digital

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