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Normas DIN – AENOR
DIN 50438-3:1984-02

DIN 50438-3:1984-02

Testing of materials for use in semiconductor technology; determination of interstitial atomic boron and phosphorus content of silicon by infrared absorption spectroscopy

Essai des materiaux pour la technologie des semi-conducteurs; détermination de la teneur en impureté dans le silicium au moyen de l'absorption par infrarouge; bore et phosphore

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung des Verunreinigungsgehaltes in Silicium mittels Infrarot-Absorption; Bor und Phosphor

Fecha Anulación:
2010-12 /Withdrawn
Relación con otras normas DIN:

Reemplazada por: DIN 50438-3:2000-12

Keywords:
Absorption, Absorption (waves), Boron, Definitions, Impurities, Materials, Phosphorus, Semiconductor engineering, Semiconductor technology, Silicon, Testing
28,79
Idioma Formato

Formato digital

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