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Normas BSI – AENOR
BS ISO 17560:2002

BS ISO 17560:2002

Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Method for depth profiling of boron in silicon

Fecha Anulación:
2014-09-30 /Withdrawn
Comité:
CII/60
Equivalencias internacionales:

ISO 17560:2002

Relación con otras normas BSI:

Reemplazada por: BS ISO 17560:2014

Keywords:
Chemical analysis and testing, Depth, Silicon, Spectroscopy, Ions, Boron, Mass spectrometry, Determination of content, Secondary, Surface chemistry
154,54
Idioma Formato

Formato digital

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